Вакуумные насосы Edwards Vacuum производятся в Англии.Edwards является частью швейцарской компании Atlas Copco и занимает лидирующие позиции среди производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Сегодня в компании работает 4200 сотрудников на предприятиях более чем в 30 странах. Основная вектор развития компании - разработка инновационных продуктов в области вакуумной техники, оптимизация процессов на самых требовательных к ресурсам приложениях.
Название или модель |
Edwards STP603 |
Производитель |
Edwards Vacuum |
Страна |
Англия |
Диапазон |
Высокого и сверхвысокого вакуума |
Частота вращения |
35000 об/мин |
Скорость откачки по азоту |
650 л/с |
Скорость откачки по водороду |
550 л/с |
Степень сжатия по азоту |
> 108 |
Степень сжатия по водороду |
> 105 |
Предельное остаточное давление |
10-7 Па (10-9 Торр) | 10-8 Па (10-10 Торр) |
Максимальное рабочее давление |
По запросу |
Максимально возможное давление на выходе |
13 Па (0.1 Торр) |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
По запросу |
Время запуска |
< 6 мин |
Положение в пространстве |
По запросу |
Входной фланец |
ISO160F | DN160CF |
Выходной фланец |
KF40 |
Охлаждение |
По запросу |
Допустимая температура окружающей среды |
По запросу |
Вес |
31 кг |
Смазка подшипников |
По запросу |