Описание

Анализатор TXRF-V310 разработан для оценки загрязненности пластин методом рентгенофлуоресцентного анализа с полным внутренним отражением и разложением в газовой фазе.

Может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF- V310 оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от ₁₁Na до ₉₂U.

Имеет 3-х лучевую систему рентгеновского излучения и твердотельный детектор.