Описание

Анализатор TXRF 3800е разработан Rigaku для оценки загрязнения поверхности в отдельной точке или для создания карты загрязненности всей поверхности. Рентгенофлуоресцентный анализатор может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF 3800е оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от ₁₆S до ₉₂U, имеет 2-х лучевую систему рентгеновского излучения и новую жидкостную безазотистую систему детектирования.

Анализатор TXRF 3800е включает в себя ступенчатую систему анализа “X-Y-θ”, запатентованную компанией Rigaku, роботизированную систему транспортировки пластин в вакууме и новое, удобное в использовании, программное обеспечение. Все это способствует повышению пропускной способности анализатора и точности рутинных анализов.

Дополнительное программное обеспечение, разработанное для анализатора TXRF 3800е, позволяет увидеть и оценить распределение загрязненности по всей площади анализируемой поверхности, выявить «горячие зоны» и повторно их проанализировать с повышенной точностью.

Все вышеперечисленные функции объединены в новом, компактном и эффективном дизайне. Анализатор занимает мало рабочего пространство, что особенно актуально для чистых помещений.

Преимущества:

• Простота эксплуатации и быстрое получение результатов анализа.
• Анализ пластин 200 мм и менее.
• Компактный дизайн.
• Запаянная рентгеновская трубка источника рентгеновского излучения.
• Широкий диапазон анализируемых элементов (от ₁₆S до ₉₂U).
• Применим для анализа очищенного Si и подложек без Si.

Технические характеристики

• Размер пластин, мм Макс. 200
• Источник рентгеновского излучения: Запаянная трубка
• Детектор: Жидкостной, безазотный
• Анализируемые элементы: ₁₆S ~ ₉₂U
• Оптика: С автоматическим выравниванием