Описание

Анализатор TXRF 3760 разработан Rigaku для оценки загрязнения поверхности в отдельной точке или для создания карты загрязненности всей поверхности. Рентгенофлуоресцентный анализатор может оценить загрязненность поверхности во всех функциональных процессах, включая стадии очистки, литографии, травления, озоления и т.д. TXRF 3760 оценивает содержание элементов периодической таблицы Менделеева от ₁₁Na до ₉₂U, имеет 3-х лучевую систему рентгеновского излучения и твердотельный детектор.

Анализатор TXRF 3760 включает в себя ступенчатую систему анализа “X-Y-θ”, запатентованную компанией Rigaku, роботизированную систему транспортировки пластин в вакууме и новое, удобное в использовании, программное обеспечение. Все это способствует повышению пропускной способности анализатора и точности рутинных анализов.

Дополнительное программное обеспечение, разработанное для анализатора TXRF 3760, позволяет увидеть и оценить распределение загрязненности по всей площади анализируемой поверхности, выявить «горячие зоны» и повторно их проанализировать с повышенной точностью.

Преимущества:

• Простота эксплуатации и быстрое получение результатов анализа.
• Анализ пластин 200 мм и менее.
• Компактный дизайн.
• Высокомощный вращающийся анод.
• Широкий диапазон анализируемых элементов (от ₁₁Na до ₉₂U).
• Светочувствительность к элементам ₁₁Na, ₁₂Mg и ₁₃Al.
• Применим для анализа очищенного Si и подложек без Si.

Технические характеристики

• Размер пластин, мм: Макс. 200
• Источник рентгеновского излучения: Вращающийся анод
• Детектор: Твердотельный
• Анализируемые элементы: ₁₁Na ~ ₉₂U
• Оптика: С автоматическим выравниванием