Описание

Дисперсионный анализатор флуоресценции рентгеновской флуоресценции (WDXRF) 2830 ZT обеспечивает максимальную возможность измерения толщины и состава пленки. 2830 ZT Wafer Analyzer, специально разработанный для полупроводниковой промышленности и хранения данных, позволяет определять состав слоев, толщину, уровни легирующей примеси и однородность поверхности для широкого диапазона пластин до 300 мм.

Особенности

Непрерывные возможности и скорость

Рентгеновская трубка SST-mAX мощностью 4 кВт имеет новаторскую технологию ZETA, которая устраняет последствия старения рентгеновской трубки. Эта производительность «новой трубки» поддерживается на протяжении всей жизни трубки, а также с высокой чувствительностью технология ZETA обеспечивает быстрый анализ и короткие времена измерений в течение всей жизни трубки. Технология ZETA решительно уменьшает потребность в коррекции дрейфа и повторной калибровке, что увеличивает производительность и время работы инструмента.

Максимальное время безотказной работы

Обычные рентгеновские трубки страдают от испарения вольфрама, что вызывает отложения на внутренней стороне бериллиевого окна трубки. Инструментарий с использованием таких рентгеновских трубок требует регулярной коррекции дрейфа для компенсации уменьшения интенсивности, особенно для легких элементов.

Реализация трубки SST-mAX в 2830 ZT решает эту проблему с дрейфом, тем самым максимизируя время безотказной работы и сохраняя точность прибора во времени.

Легко использовать

2830 ZT поставляется с расширенным программным обеспечением SuperQ, которое включает в себя FP Multi, программный пакет, специально разработанный для многоуровневого анализа. Пользовательский интерфейс программного обеспечения гарантирует, что даже неопытные операторы могут выполнять полностью автоматизированный анализ основных параметров многослойных объектов.
Программное обеспечение SuperQ для инструмента имеет широкий спектр простых в использовании модулей, предназначенных для гибкой работы исследователей и инженеров. Переключение между рецептами легко, так как регулирует параметры оборудования в соответствии с предпочтениями пользователя.

FALMO-2G

FALMO-2G легко интегрируется в любую лабораторию или фабрику: от простой ручной загрузки носителей до полной автоматизации. Полностью гибкая конструкция позволяет менеджеру фабрики выбирать из портов загрузки FOUP, SMIF или открытой кассеты с конфигурацией одного или двух порта. Различные конфигурации FALMO-2G поддерживаются программным обеспечением GEM300. Отпечаток FALMO-2G был сведен к минимуму без ущерба для гибкости, функциональности

Характеристики