Описание

Анализатор кремния CryoSAS - это специализированная система для низкотемпературного (<15K) определения мелких примесей в кремнии, оптимизированная для осуществления анализа в промышленных условиях.

CryoSAS сочетает в себе высококачественный ИК-Фурье спектрометр со встроенным криостатом замкнутого цикла, не требующего жидкого гелия. Укомплектованный самым современным оборудованием, CryoSAS использует хорошо проверенную методику выполнения сложных анализов в соответствиями с требованиями кремниевой промышленности. CryoSAS может использоваться в автоматическом режиме, предоставляющем подробные отчеты о результатах измерений.

 

Особенности системы

Высокая чувствительность

CryoSAS анализирует мелкие примеси (бор, фосфор и др.) до уровня ppta, согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630. Возможен также одновременный анализ углерода и кислорода до уровня ppba согасно стандарту ASTM/SEMI MF1391.

   

 

Результаты измерения углерода (см. выше), бора и фосфора (см. ниже) при низких температурах (~12 K).

Система охлаждения до крио-температур замкнутого типа: не требуется дорогостоящий жидкий гелий

Чрезвычайно надежная система охлаждения до крио-температур предназначена для охлаждения детектора и отсека образца. По сравнению с проточными охлаждающими системами, требующими жидкого гелия, система замкнутого типа позволяет Вам сэкономить около 50,000 € за год и даже более (в зависимости от интенсивности использования сисемы).

Отсек образца с автоподатчиком образцов на 9 позиций.

 

 

Специализированное ПО CryoSAS отражает параметры загруженных образцов и выбранный метод анализа.

Отсек образца из нержавеющей стали: легкая смена образцов

Испытанная конструкция отсека образца: фиксированная оптика и автоподатчик образца. Большой внутренний диаметр отсека образца позволяет легко менять образцы.

Безмаслянный форвакуумный и тубромолекулярный насосы: система вакуумирования

Быстрая и надежная система вакуумирования.

Автоподатчик образцов на 9 позиций: надежный высокоточный шаговый двигатель

Держатель образцов на прочной подвижной платформе позволяет автоматически анализировать несколько образцов . Мотор с большим крутящим моментом и цельный перемещающий механизм производит точное позиционирование образцов и обеспечивает годы надежной работоспособности. Смена держателей и образцов не требует усилий. Стабильности температуры обеспечивает конструкция позолоченного медного держателя.

Легкость использования

CryoSAS предназначен для проведения анализа в промышленных условиях. Все вакуумные и охлаждающие устройства контролируются PLC (программируемым логическим контроллером). Охлаждение и начало измерения происходят с нажатия кнопки. От пользователя НЕ требуется обладать специальными навыками и знаниями работе со спектральной или вакуумной техникой.

Специализированное программное обеспечение CryoSAS полностью удовлетворяет требованиям промышленного контроля качества, просто в использовании, управляется с помощью сенсорного экрана. Пользователю необходимо выбрать метод анализа, ввести информацию об образце и нажать кнопку запуска. CryoSAS начнет автоматическое охлаждение образца, зарегистрирует ИК-спектр, обработает результат и создаст отчет о проведенном анализе.

 

Спецификации

Спектральный диапазон: 1500 – 280см^-1 оптимизирован для определения

• мелких примесей III и V групп в монокристаллическом Si согласно стандарту ASTM/SEMI MF1630.  Для клиновидных образцов с толщиной около 3мм, могут быть достигнуты следующие пределы обнаружения:
  - 10ppta P (фосфор)
  - 30ppta B (бор)
• замещающего углерода согласно стандарту ASTM/SEMI
  MF1391. В этом методе необходимо использовать безуглеродный образец сравнения (Si, полученный методом зонной плавки) с толщиной и поверхностью, сравнимой с исследуемыми образцами.
  Для клиновидных образцов с толщиной около 3 мм, углерод может быть определен в концентрациях до 20ppba.

Используемые технологии защищены одним и более из перечисленных патентов: US 7034944; DE 19940981