Описание

Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L - это идеальный вариант для оптимизации выпуска годных изделий при производстве жидкокристаллических экранов, солнечных фотогальванических элементов путём контроля состава и давления газа.

Газоанализатор Transpector XPR3L делает процесс мониторинга состава технологических газов и состояния вакуума недорогим и эффективным. Применение прибора XPR3L производства компании Inficon для контроля мониторинга процесса осаждения из паровой фазы позволяет в реальном времени получать данные о давлении технологического газа, соотношении газов, уровне загрязнённости, примесях и возможных течах. Эти данные можно использовать как для увеличения выпуска годных изделий, так и для повышения их качества. Мониторинг фона масс-спектрометром Transpector XPR3L помогает повысить эффективность и результативность программ профилактического техобслуживания за счёт более быстрого обнаружения и диагностики течей и загрязняющих веществ.

 

 

Недорогой анализ газов квадрупольным масс-спектрометром Transpector XPR3L

Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L обеспечивает двухцелевую функциональность: мониторинг техпроцесса и контроль состояния вакуума, функционируя в диапазоне от сверхвысокого вакуума до 10-2 торр (2 х 10-2 торр по заказу). Миниатюрная конструкция квадруполя, используемого в приборе Transpector XPR3L, обеспечивает эту способность анализировать газы в расширенном диапазоне давления, не требуя какого-либо оборудования для преобразования давления, сохраняя компактный размер прибора и низкие издержки. Недорогой рентабельный прибор мониторинга техпроцессов, допускающий применение в масштабируемых производственных системах.

 

 

Повышение выпуска годных изделий и их качества

Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L позволяет увеличить выпуск годных изделий, уменьшить количество брака и повысить качество продукции путём непрерывного автоматического мониторинга парциального давления технологического газа, соотношения газов, а также обнаружить и определить уровень загрязнённости и возможные примеси.

 

 

Особенности и возможности газоанализатора Transpector XPR3L

• Газоанализатор Transpector XPR3L обеспечивает экономичную двухцелевую функциональность: мониторинг техпроцесса и контроль состояния вакуума, функционируя в диапазоне от сверхвысокого вакуума до 10^-2 торр (2 х 10^-2 торр по заказу)
• недорогой рентабельный прибор мониторинга техпроцессов, допускающий применение в масштабируемых производственных системах
• масс-спектрометр квадрупольный повышает выпуск годных изделий, уменьшает количество брака и повышает качество продукции путём непрерывного автоматического мониторинга давления технологического газа, соотношения газов и возможных загрязняющих веществ
• ускоряет восстановление ВЭУ и повышает производительность, контролируя состояние вакуума, обнаруживая течи и определяя загрязняющие химические соединения с высокой чувствительностью и низким уровнем минимального обнаруживаемого парциального давления
• квадрупольный масс-спектрометр работает в диапазоне масс 1-100 а.е.м., защищая ваши инвестиции и уменьшая риск, благодаря своей способности обнаруживать широкий диапазон химических соединений, загрязняющих веществ или побочных продуктов
• благодаря совместимости с системой анализа и мониторинга FabGuard, газоанализатор обеспечивает надёжные усовершенствованные диагностику и контроль процесса

 

 

Повышение производительности

Ускоряет восстановление ВЭУ в газоанализаторе Transpector XPR3L, контролируя состояние вакуума, обнаруживая течи и определяя загрязняющие химические соединения. ВЭУ в приборе Transpector XPR3L обеспечивает высокую чувствительность и низкое минимальное измеряемое парциальное давление для быстрой и достоверной проверки состояния вакуума или выявления и устранения неполадок.

 

 

Диапазон 100 а.е.м.

Прибор Transpector XPR3L работает в диапазоне масс 1-100 а.е.м., защищая ваши инвестиции и уменьшая риск, благодаря своей способности обнаруживать широкий диапазон химических соединений, загрязняющих веществ или побочных продуктов.

 

 

Эффективный анализ данных для увеличения выпуска годных изделий

Квадрупольный масс-спектрометр Transpector XPR3L совместим с ПО TWare32 для определения характеристик техпроцесса и облегчения управления газоанализатором, сбора и отображения данных. Этот газоанализатор также совместим с системой анализа и мониторинга FabGuard – пакетом программ для обеспечения надёжной усовершенствованной диагностики и контроля процесса. ПО FabGuard имеет простой интуитивно понятный интерфейс, обеспечивает расширенную диагностику, более эффективное выявление неполадок и их классификацию, а также надёжный контроль техпроцесса в реальном времени. Запрограммированные сложные алгоритмы практически исключают подачу ложных сигналов тревоги при изменениях во время техпроцесса. ПО FabGuard также предоставляет эффективные статистические и аналитические функции для более совершенного выявления неполадок и их классификации.

 

 

Применения газоанализатора Transpector XPR3L

• Производство солнечных и фотогальванических элементов
• Производство ЖК экранов
• Мониторинг процесса осаждения из паровой фазы
• Контроль давления и соотношения технологических газов
• Обнаружение и определение загрязняющих химических соединений
• Обнаружение и локализация течей (воздух, гелий, вода, другие пары)
• Восстановление ВЭУ, устранение неполадок и контроль основного состояния вакуума

 

 

Наш опыт – это ваше конкурентное преимущество

Компания «ЭмЭсЭйч Техно Москва» является официальным представителем компании INFICON, и совместно с ней предоставляет группы опытных профессиональных специалистов по разработке прикладных решений, обладающих глубокими и обширными знаниями в области производственных процессов, и ресурсы для установки, анализа и поддержки во всех регионах.

 

 

Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Transpector XPR3L

Диапазон масс (а.е.м.)	1-100
Разрешающая способность (согласно AVS 1993)	менее 1 а.е.м. при измерении на уровне 10% от высоты пика для масс 4, 20, 28 и 40 а.е.м.
Макс. рабочее давление с опцией блокировки датчиком Пирани без блокировки датчиком Пирани линейный режим работы	20Е-3 торр 10Е-3 торр 10Е-3 торр
Чувствительность (номинальная) для ЦФ при 40 эВ/токе эмиссии 200 мкА для ВЭУ при 70 эВ/токе эмиссии 400 мкА	> 4E-7 А/торр > 8E-3 А/торр
Мин. измеряемое парциальное давление* для ЦФ при 40 эВ/токе эмиссии 200 мкА для ВЭУ при 70 эВ/токе эмиссии 400 мкА	< 1E-9 торр < 6E-12 торр
Мин. обнаруживаемая концентрация	50 ppm
Стабильность отношения пиков (28/40) для ЦФ	менее 2% за 24 ч
Тип фильтра масс	Квадруполь
Тип детектора	цилиндр Фарадея (ЦФ) и вторично-электронный умножитель (ВЭУ)
Стабильность позиции пика по оси масс для ЦФ при давлении аргона 1Е-4 торр и постоянной температуре	менее 0,1 а.е.м. за 24 ч**
Температурный коэффициент для ЦФ при давлении аргона 1Е-4 торр	менее 1% от высоты пика на 1ºС
Макс. рабочая температура датчика	150 °C
Макс. допустимая температура прогрева (без электроники)	200 °C
Рабочая температура (окружающей среды)	20-50 °C

 

ПРИМЕЧАНИЯ. Все технические характеристики приведены для состояния прибора после его прогрева в течение 30 минут.
*) Минимальное обнаруживаемое парциальное давление вычисляется как среднеквадратическое отклонение шума делённое на чувствительность датчика, измеренную за время выдержки 4 секунды.
**) Активна фиксация пика (Peak Lock) для стабильности позиции пика по оси масс в течение 24 часов.