Описание:
THETA PROBE –прорыв в области анализа поверхности и различных покрытий методами электронной спектроскопии. Позволяет проводить количественный и качественный анализ поверхности различных материалов и исследование сверхтонких плёнок.
Особенности:
- Прибор обладает уникальной функцией построения карт распределения химических элементов по поверхности, карт толщин покрытий, распределения примесей и т.д.
- Уникальная методика РФЭС с угловым разрешением (PARXPS) позволяет проводить широкий спектр неразрушающих исследований на неподвижном образце (определение последовательности слоёв, распылительное профилирование, анализ толщины скрытых слоёв, анализ однородности толщины, состава слоев и концентрации элементов в них и т.д.).
- Система является уникальной в своём роде, и при иcпользовании запатентованной методики PARXPS разрешение по глубине при неразрушающем профилировании составляет <0.1 нм.
Области применения:
- Атомная промышленность
- Микроэлектроника
- Наука
- Материаловедение
- Анализ покрытий
В базовой комплектации прибор включает:
- полусферический анализатор с двойной фокусировкой;
- многоэлементную систему вводных линз RADIAN для спектроскопии;
- многоканальный двумерный детектор для спектроскопии и PARXPS;
Микрофокусный монохроматический источник рентгеновского излучения
- монохроматор 250 мм (круг Роуланда);
- микрофокусная электронная пушка и многопозиционный алюминиевый анод;
- термостатированная система управления кристаллом и манипуляторы;
- минимальный размер пятна - от 15 мкм
Комбинированная ионно-электронная пушка для зарядовой нейтрализации
- Нейтрализация заряда
- Функция электростатического отклонения для точной настройки
- Источник низкоэнергетических электронов
Ионная пушка
- Очистка поверхности образца, распылительное профилирование
- Дифференциальная откачка
Наблюдение за образцом
- Окно с защитой от рентгеновского излучения
- Микроскоп для оптимизации положения образца с CCD камерой
- Профиль распределения концентрации по глубине слоя оксинитрида кремния, полученный при помощи прибора Theta Probe.
- 3D представление распределения толщины оксида по поверхности пластины диаметром 200 мм.
- Химическая карта распределения дозы азота по поверхности пластины диаметром 300 мм.