Решение для формирования цветных покрытий и покрытий высокой твердости
CARBOZEN ™ -H (Hybrid PVD) – оборудование для создания покрытий, которое может удовлетворить различные потребности благодаря применению комбинации линейного ионного источника и UBM распыления.
Размер камеры | Ø600×H600, Ø700×H900, Ø800×H1000, Ø1000×H1000, Ø1000×H1200, под заказ |
Система зажима | двойная или тройная |
Рабочий газ | Система управления расходом Ar, O2 , C2H2 , CH4 , C6H6 ·и др. |
Источник плазмы | Линейный ионный источник и UBM распылитель |
Начальный уровень вакуума | ~10-6Торр |
Источник напряжения смещения | Импульсный источник постоянного тока |
Нагреватель | Максимум 250℃ [Опционально до 450℃] |
Функционирование устройства | Автоматическое /полуавтоматическое |