Описание:

Узкоспециализированные инструменты: Макроинспекция/Инспекция кромки пластин.

Модификации модульной системы Axiospect, содержащие только необходимые для конкретных задач инструменты.

Стандартные конфигурации: «только макро», «только кромка пластин»
 

Основные возможности:

• Поставляется без микроскопа в комплекте
• Полуавтоматический макро-осмотр или осмотр кромки с записью дефектов
• Общий программный пакет и возможности с SECS/GEM, E84 etc.