Описание:

Кремний является прозрачным для инфракрасного света. Источник инфракрасного света установки WBI освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным проконтролировать качество сращивания двух кремниевых пластин, чего нельзя сделать на обычном микроскопе.

Установка WBI оснащена источником инфракрасного света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.

Для пластин меньшего размера предусмотрены специальные адаптеры. 200 мм версия WBI оснащена моторизированным приводом держателя пластин.

Для работы системы необходим компьютер с USB портом и Windows 2000 или выше.

Основные возможности:

• Контроль пластин до и после сращивания
• Совмещение кремниевых пластин/чипов
• Контроль качества
• Инспекция отдельных устройств MEMS
• Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)

 

 

 

 

Пластина загружается с передней стороны. Для маленьких   пластин может быть использован адаптер.

Пример ИК изображений: С левой стороны показаны две кремниевые пластины после сращивания (фотография CSEM SA). Общая толщина 1.0 мм. Не сращенные площади между двумя пластинами можно увидеть в областях с интерференцией. Изображение справа показывает качество сращивания пластин с уже сформированной на них структурой. Изображение показывает области подтравленных полостей. Также область интерференции показывает области плохого сращивания.