Основные технические характеристики

• Точность переднего совмещения: +/- 1 микрон
• Система совмещения: ПЗС-камера с расщеплённым полем
• Диапазон расщеплённого поля: от 10 до 150 мм
• Длина волны источника излучения: ближний УФ- 365 нм, 400 нм; дальний УФ- 220 нм, 254 нм
• Размер области однородного излучения: 6” 
• Однородность пучка:
  •     < ±1% в пределах области 2” (круг)
  •     < ±2% в пределах области 4” (круг)
  •     < ±3% в пределах области 6” (круг)
• Размеры подложек: от 2” до 6” (круглые)
• Размеры масок: от 3” до 7” (квадратные)
• Рабочий режим: контакт и экспонирование с зазором
• Максимальный зазор между маской и подложкой: 300 микрон
• Ключ совмещения: стандартное изображение в виде креста
• Электромеханическое перемещение рабочего столика 
• Автоматическая планаризация по оси Z, компенсация клина и выравнивание.
• 17” ЖК-монитор с высоким разрешением
• 15” сенсорный экран HMI.
• Система управления: ПК/программируемый логический контроллер.