Основные технические характеристики

• Точность совмещения по обратной стороне +/- 0.5 микрон
• Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1 
• Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором 
• Управляющий источник питания с постоянной интенсивностью и мощностью
• Источник света для ближнего УФ, 350 Вт, 6” (с широкополосным зеркалами 365/400/436 нм)
  •      365 нм: выходная интенсивность – 20-22 мВт/см2
  •      400 нм: выходная интенсивность – 40-45 мВт/см2
  •      436 нм: выходная интенсивность – 10-12 мВт/см2
• 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
• Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными подложками
• Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт 
• Источники питания 500, 1000 и 2000 Вт в ближнем и дальнем УФ (опция)
• Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция)
• Система совмещения по обратной стороне в инфракрасном и видимом диапазонах.