Автоматизированная зондовая станция для пластин размером до 200 мм. Для проведения серийных испытаний на высокой частоте.
Технические характеристики камеры внеосевого совмещения
Количество пикселей |
2 MP |
Оптическое разрешение |
1296 x 966 |
Область обзора |
4.8 x 3.6 мм |
Освещенность |
кольцевое освещение + коаксиальное |
Технические характеристики дополнительной камеры верхнего обзора
Количество пикселей |
2 MP |
Оптическое разрешение |
1296 x 966 |
Область обзора |
2.4 x 1.8 mm |
Освещенность |
кольцевое освещение |
Технические характеристики
Операционная система |
Microsoft Windows 7 |
Удаленное взаимодействие |
GBIP и LAN |
USB 2.0 |
4 |
Кромкоискатель (дополнительно) |
поддерживается |
Программное обеспечение для управления зондом
Технические характеристики
Материал |
никелированная сталь |
Расстояние между держателем и платформой |
29 мм |
Функциональная возможность |
настройка проб-картой и микропозиционерами |
Максимальное кол-во микропозиционеров |
4 ВЧ микропозиционера |
Технические характеристики
Размер п/п пластины |
100, 150, 200 мм (4, 6, 8 дюймов) |
Тип кассеты |
Semi E1 |
Вместимость кассеты |
2 |
Время загрузки первой пластины |
50 сек |
Время замены пластины |
20 сек |
Функция замены тонкой пластины |
Логический способ подъема тонкой пластины |
Поддержка п/п пластины |
Традиционная и опускание тонкой пластины на расстояние до 50 мкм |
Устройство предварительного совмещения |
Оптическое, опорные прорези и фаски |
Устройство считывания ID пластины (дополнительно) |
оптическое, настройка сверху или снизу |
Сканирование пластины |
Лазерное сканирование для индексации пластины |
Кассетная станция TS2500 поддерживает максимум две кассеты для пластин размером до 200 мм и максимум три кассеты для пластин размером до 150 мм
RF держатели п/п пластин размером
|
150 мм |
200 мм |
Соединение |
коаксиальный BNC (f) |
коаксиальный BNC (f) |
Диаметр |
150 мм с 2 интегр. доп. областями |
210 мм с 2 интегр. доп. областями |
Материал |
Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм) |
Никелированный алюминий (гладкий, отверстия 0.5 мм) |
Поверхность держателя |
Плоская, диаметр отверстий в центральной части 0.5 мм |
Плоская, диаметр отверстий в центральной части 0.5 мм |
Отверстия для подачи вакуума (диаметр) |
3, 27, 45, 69, 93, 117, 141 мм |
3, 27, 45, 69, 93, 117, 141, 164, 194 мм |
Включение подачи вакуума |
Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 50, 100, 150 мм (2, 4, 6 дюймов) |
Ручной переключатель между центральными (4) отверстиями, 100, 150, 200 mm (4, 6, 8 in) |
Поддерживаемые размеры DUT |
Единичные DUT размером 4 x 4 мм пластины 50 мм (2 дюйма) до 150 мм (6 юймов)* |
Единичные DUT размером 4 x 4 мм или пластины 100 мм (4 дюйма) до 200 мм (8 дюймов)* |
Плоскость поверхности |
≤± 5 мкм |
≤± 5 мкм |
Жесткость |
< 15 мкм / 10 N по ребру |
< 15 мкм / 10 N по ребру |
Штифт подъема |
9 |
13 |
* Тестирование единичных DUT требует больше вакуума в зависимости от условий тестовых измерений.
Количеств |
2 дополнительных держателя |
Положение |
на передней стороне основного держателя |
Размер подложки (Ш x Д) |
максимум 25 x 25 мм (1 x 1 дюйм) |
Материал |
керамика, материал, поглощающий RF с целью обеспечения точной калибровки |
Плоскость поверхности |
≤± 5 мкм |
Управление |
независимое от держателей |
Позолоченный RF держатель для работы с тонкими полупроводниковыми пластинами
Технические характеристики интегрированной технологии MPI ERS
20 °C до 200 °C |
20 °C до 200 °C |
20 °C до 300 °C |
|
Соединение |
Коакс. BNC (f) |
Триакс. Кельвин. (f) |
Триакс. одиночн. (f) |
Способ терморегулировки |
Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель |
Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель |
Охлаждение воздухом/ Резистивный нагреватель |
Хладагент |
Воздух (обеспечивается заказчиком) |
Воздух (обеспечивается заказчиком) |
Воздух (обеспечивается заказчиком) |
Наименьший шаг выбора температур |
0.1 °C |
0.1 °C |
0.1 °C |
Разрешение отображения температуры держателя |
0.01 °C |
0.01 °C |
0.01 °C |
Функция внешнего сенсорного устройства отображения |
Да |
Да |
Да |
Температурная стабильность |
±0.08 °C |
±0.08 °C |
±0.08 °C |
Точность температур |
0.1 °C |
0.1 °C |
0.1 °C |
Способ управления |
DC/PID с низким уровнем шума |
DC/PID с низким уровнем шума |
DC/PID с низким уровнем шума |
Интерфейсы |
RS232C |
RS232C |
RS232C |
Покрытие поверхности держателя |
Никелированное, перфорированное |
Никелированное, перфорированное |
Позолоченное, перфорированное |
Датчик температур |
Pt100 1/3DIN, 4-проводной |
Pt100 1/3DIN, 4-проводной |
Pt100 1/3DIN, 4- проводной |
Температурная однородность |
< ±0.5 °C |
±0.5 °C |
< ±0.5 °C при 20 до 200 °C |
Плоскость поверхности и |
< ±10 мкм |
< ±10 мкм |
< ±10 мкм |
Скорость нагревания и охлаждения |
20 до 200 °C < 15 мин. |
20 до 200 °C < 25 мин. |
20 до 300 °C < 30 мин. |
Электроизоляция коакс. BNC (f) |
> 10 T Ω при 25 °C |
нет данных |
нет данных |
Утечка @ 10 V |
нет данных |
< 15 fA при 25 °C |
< 15 fA при 25 °C |
Емкость |
< 900 pF |
нет данных |
нет данных |
Максимальное напряжение между верхней поверхностью держателя и заземлением |
500 V DC |
500 V DC |
500 V DC |
Стандартное время перехода
Держатель по оси XY (программируемый)
Длина хода |
298 мм x 350 мм (11.7 x 13.7 дюймов) |
Разрешение |
0.1 мкм |
Точность |
± 4.0 мкм |
Повторяемость |
± 2.0 мкм |
Держатель по оси Z (программируемый)
Длина хода |
16 мм (0.6 дюймов) |
Разрешение |
0.2 мкм |
Повторяемость |
± 1.0 мкм |
Длина хода |
± 5.0° |
Разрешение |
0.00125° |
Точность |
3.0 мкм (измеряется на кромке держателя пластин размером до 200 мм |
Зондовая установка в целом
Напряжение |
110/120/200/230 V AC 50/60 Hz |
Вакуум |
< -0.7 бар при 10LPM |
Сжатый воздух |
4.0 – 6.0 бар при 2LPM |
Характеристики
Габариты станции (Ш x Г x В) |
1930 x 1460 x 1845 мм (76.0 x 57.5 x 72.6 дюймов) |
Масса |
900 кг |
Сертификат: CE