Ключевыми особенностями интерферометров µPhase является:
Параметр |
Значение |
Габариты датчика, (ДхШхВ), мм |
130х60х100 |
Длина волны источника излучения, нм |
от 355 до 1064 |
Длина когерентности источника излучения, м |
100 |
Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
0,032 |
Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
20 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
±0,032 |